有限元声表面波器件仿真分析开题报告

 2023-03-02 11:03

1. 研究目的与意义

1.研究背景

声表面波(SAW)是英国物理学家瑞利在19世纪80年代研究地震波时发现的,是一种能量只集中在弹性体表面附近传播的波。声表面波技术是利用声表面波来处理信号的技术,是声学、电子学、材料学相结合的一门高新技术。声表面波器件就是基于声表面波技术制作而成的电子器件。声表面波器件主要由压电衬底材料和其表面的叉指换能器(IDT)所组成。其中IDT是声表面波器件的核心结构,它由成对、交叉的电极条构成,类似于手指交叉,可以高效激发和检测声表面波。声表面波器件的工作过程是接收端的IDT接收到外部激励电信号后,通过逆压电效应在压电衬底上激励SAW,SAW在压电衬底内部传播至输出端的IDT,并通过压电效应将SAW转换为电信号后输出。声表面波传输速度较慢,是电磁波的十万分之一,因此声表面波器件具有较低的传播速度。在同一频段上,声表面波器件的尺寸比相应的电磁波器件的尺寸小很多,可以大幅缩少器件的体积和重量,有利于电子器件的超小型化。

声表面波的基本仿真模型有d函数模型,等效电路模型,耦合模模型(COM)。

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2. 研究内容与预期目标

叉指换能器可以激发声表面波,它的各个组成部分都会对声表面波器件有着很大的影响。声表面波器件的工作频率取决于IDT设计的参数。因此为提高SAW谐振器的性能和稳定性,降低插入损耗,将研究IDT的尺寸参数和结构参数对SAW谐振器电参数的影响,并将研究IDT几何参数与谐振频率的关系。

有限元法是一种数值技术,广泛用于解决由偏微分方程控制的边值问题。它将问题域划分为较小的部分和有限元,并应用变分技术来通过最小化残留误差来解决问题。有限元仿真精度高,利用有限元法可以精确快速的进行声表面波器件的仿真。压电材料是声表面波的传输载体,可以影响声表面波谐振器的性能。利用有限元法可以对压电材料进行瞬态,稳态,频域等分析。因此本课题将使用有限元法对声表面波器件进行仿真,提高声表面波器件仿真的精度,研究对压电材料的参数对声表面波谐振器的影响。

3. 研究方法与步骤

使用COMSOL软件建立仿真模型,设计IDT的结构。为降低插入损耗,为研究几何参数对谐振频率的影响,将控制IDT类型,调节IDT的电极宽度、电极厚度、电极间距。为研究IDT尺寸参数和结构参数和谐振器电参数之间的关系,将分析IDT的阻抗特性,脉冲响应,频响特性,以及分析谐振器的Q值与IDT的关系。

为提高声表面波谐振器的仿真精度,将使用有限元方法控制边界条件,对仿真模型不同的部分进行不同大小的网格划分。为研究压电材料参数的声表面波谐振器性能的影响,将并对压电材料的重要参数声表面波波速,传播损耗,机电耦合系数进行分析,得到声表面波的传播特性和衰减特性。通过频域分析得到输入输出导纳,得到阻抗特性。

4. 参考文献

[1]邱关源,罗先觉,电路第5版,高等教育出版社

[2]宋树祥,高频电子线路,北京大学出版社

[3] J.卡尔.约瑟夫,射频电路设计,科学出版社

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5. 工作计划

2022年2月20日- 2022年3月6日

查阅资料,填写开题报告,完成外文资料的翻译。

2022年3月7日- 2022年3月20日

熟悉comsol环境。

2022年3月21日- 2022年3月31日

确定设计思想,按要求进行电路设计。

2022年4月1日- 2022年4月30日

电路结构与性能参数优化。

2022年5月1日- 2022年5月20日

调整并完善设计,资料收集,撰写论文提纲。

2022年5月21日-

2022年6月10日

整理设计文档,撰写毕业论文,准备论文答辩。

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